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六氟乙烷C2F6

日期2:2020-05-18     浏览:1    
内容摘要:VOC标准气体,深圳VOC标准气体,环境监测VOC标准气体,标准气体,电子气体,混合气体,高纯气体。特种气体,工业气体,检测气体
以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4、C2F6、C3F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。

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